如经过长时间精抽后，真空室本底压力为P，而在随后的沉积过程中，工作压力为50P，试问这两种情况下，真空室内活性气体分压各为多少？

2022-08-03 08:54:03

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答：系统长时间抽气后，其本底经质谱分析可确定其中90%以上皆为活性气体（水蒸气），所以精抽后真空室内的活性气体分压就近似等于本底压力P。当进入50P的工作压力后，其活性气体分压大小要分两种情况讨论，其一是系统抽速不变的情况，此时活性气体分压仍近似等于P，或略低于P，因为此时空间压力的增大会适当减少放气量。另一种情况是50P的工作压力下让原真空机组不能正常工作，必须通过节流使机组主泵处于正常工作的压力，如扩散泵正常工作的泵口压力为5×10-2Pa，涡轮分子泵正常工作的泵口压力约为8×10-2Pa节流的结果必然降低泵的有效抽速，通常抽速要减小1-5倍，在该情况下，真空室内的活性气体分压，即提高2-5倍。

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